拋光液檢測(cè)儀是一種用于分析拋光液中顆粒粒度及分布、濃度等參數(shù)的精密儀器,在半導(dǎo)體制造、材料加工等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。其工作原理多樣,部分采用動(dòng)態(tài)光散射原理,粒徑檢測(cè)范圍可達(dá)0.3nm-10μm,能分析多組分、粒徑分布不均勻的液態(tài)分散體系;還有運(yùn)用光阻法單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(SPOS)的,將光消減和光散射結(jié)合,可獲得較大動(dòng)態(tài)粒徑范圍并增加對(duì)小粒子的靈敏度。
拋光液檢測(cè)儀的特點(diǎn)主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:
1、技術(shù)原理與檢測(cè)精度
高精度測(cè)量技術(shù):采用光阻法單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(SPOS),可對(duì)粒子樣本進(jìn)行粒徑測(cè)試并計(jì)數(shù),一次檢測(cè)一個(gè)粒子,構(gòu)建真實(shí)的粒徑分布。
稱重與干燥系統(tǒng)精準(zhǔn):配備高精度稱重系統(tǒng),搭配環(huán)形石英鎢鹵紅外線加熱源,能快速均勻地干燥樣品,檢測(cè)結(jié)果與國(guó)標(biāo)烘箱法一致性良好,可替代傳統(tǒng)烘箱法,且檢測(cè)效率更高。
2、功能與操作便利性
功能集成度高:內(nèi)置操作系統(tǒng)和微型打印機(jī),無(wú)需外接電腦和打印機(jī)即可直接測(cè)試和打印;帶有標(biāo)準(zhǔn)串行RS232口,可外接計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)檢測(cè)結(jié)果,方便數(shù)據(jù)分類、檢索。
操作簡(jiǎn)便快捷:無(wú)需安裝、調(diào)試,拆箱即可使用;無(wú)需培訓(xùn),操作簡(jiǎn)單,省卻繁瑣步驟;測(cè)定時(shí)間短,一般樣品3-5分鐘即可完成測(cè)定,工作效率高。
自動(dòng)化程度高:全自動(dòng)測(cè)定,測(cè)量完畢報(bào)警提醒,測(cè)定過(guò)程無(wú)需看管。
3、適用性與穩(wěn)定性
適用范圍廣:可應(yīng)用于食品類牛奶、冰激凌及化工淤泥、泥漿、油漆、膠水、漿料、乳化瀝青等各種液體、糊狀樣品的固含量值檢測(cè),也能用于金剛石拋光液、氧化硅拋光液、氧化鈰拋光液、氧化鋁拋光液、碳化硅拋光液等的濃度波美度值測(cè)量。
穩(wěn)定性強(qiáng):性能穩(wěn)定,能在多種環(huán)境條件下可靠工作,保證檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。
4、數(shù)據(jù)傳輸與處理
實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)傳輸:部分儀器支持?jǐn)?shù)據(jù)自動(dòng)保存,可生成歷史數(shù)據(jù)曲線,方便查詢和溯源,數(shù)據(jù)保存周期可達(dá)12個(gè)月。
遠(yuǎn)程監(jiān)控與分析:支持通過(guò)無(wú)線遠(yuǎn)傳功能將數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)遠(yuǎn)傳至PLC、PC、DCS等上位機(jī)系統(tǒng),便于用戶遠(yuǎn)程查看實(shí)時(shí)狀態(tài)與報(bào)警,實(shí)現(xiàn)對(duì)生產(chǎn)過(guò)程的實(shí)時(shí)監(jiān)控和數(shù)據(jù)分析。
5、維護(hù)與耐用性
免維護(hù)或低維護(hù):一些儀器具有即插即用、免維護(hù)的特點(diǎn),安裝方式靈活,體積小巧,可選卡箍/法蘭/螺紋安裝等,且出廠附帶標(biāo)定證書(shū),無(wú)需現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn),也不需要定期校準(zhǔn),降低維護(hù)成本和工作量。
材質(zhì)優(yōu)良耐用:關(guān)鍵部位采用哈氏合金、316L、PTFT等材質(zhì),耐腐蝕、耐高溫、耐高壓,使用壽命長(zhǎng),能適應(yīng)各種復(fù)雜的工作環(huán)境。